請問關於oxygenplasma的技術- 社會議題QA

電漿基礎原理. 2. 電漿的成分 ... Plasma. 反應室. 副產品被真空. 幫浦抽走. 夾盤. 射頻功率. 晶圓背端冷卻. 用氦氣. 磁場線圈 ... H2O, O2. 電漿.

電漿處於不平衡狀態(non equilibrium). • 高密度電漿（HDP）源的游離. 率就高得多，大約1%；(太陽. 中心處的游離率就大約100%). • Large number of ...

有人知道oxygen plasma的原理及運作和運用嗎? 先謝謝囉~ Update: 謝謝囉,那再請問,它是如何可顯著增大表面能量,以及成為親水性呢?