電漿試片

若為自由基性電漿或與自由基元混合之氣體時，應使用O₂洗淨用感測片。

用途: O₂洗淨用適用於UV洗淨、UV臭氧洗淨。

感度: 各3種 ... 昱凱科技股份有限公司 togglemenu 關於昱凱 設備 光源 濾芯 電漿試片 材料 技術服務 合作夥伴 聯絡我們 日 简 繁 產品訊息|電漿試片 產品分類 O₂/Ar洗淨用耐熱型大氣電漿用Wafer型 運用試片，輕鬆的了解現行使用電漿的均勻性、能量等相關資訊。

不需等到產品出狀況才去找原因，可作為日常生產監控的新利器。

O₂/Ar洗淨用說明:O₂洗淨用適用於O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃等自由基性電漿的感測片。

Ar洗淨用能有效率的檢測因O₂洗淨用感測片難以檢測之離子性Ar電漿。

若為自由基性電漿或與自由基元混合之氣體時，應使用O₂洗淨用感測片。

用途:O₂洗淨用適用於UV洗淨、UV臭氧洗淨。

感度:各3種耐熱型說明:色材採用無機材料，基材則為PI材質，具背膠同時也能耐高溫(200℃)用途:因產品具柔軟性及黏著性，可自由貼附於基板表面或設備內部。

因可耐熱至200℃，故可使用於使用環境溫度較高的測試標的物。

感度:2種大氣電漿用說明:可針對大氣電漿的自由基種類進行檢測。

用途:適用於印刷電路板製造、FPD製造、膜加工等大面積的大氣(常壓)電漿處理、UV洗淨、UV臭氧洗淨等。

感度:2種Wafer型說明:為與Wafer相同形狀之感測片，故以一般生產流程手送方式即可放置，並可簡單測出面內電漿分布採用不含有機材料的陶瓷膜，耐熱性提高至400℃，即使是高溫製程溫製程也可安心使用Wafer基板有矽與藍寶石兩種可供選擇。

用途:因採無塵設計，適用於LED與MEMS等工程。

感度:1種 聯絡我們 所在地：桃園市桃園區春日路1492號8樓 電話：886-3-357-6442｜FAX：886-3-355-5524  886-3-357-0013｜E-Mail：[email protected]｜URL：www.uk-tech.net ©U.K.TechnologyCorp.