單點迴轉式電漿頭設計技術-技術移轉-產業服務-工業技術研究院
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技術名稱：
單點迴轉式電漿頭設計技術
技術簡介一種單旋轉電漿機制，用以可旋轉地設置於一噴射式電漿系統中，電漿係經由直形通道噴出，避免因為加大處理面積而降低改質效能，本系統的工作範圍(直徑)能提升到20~30mm，適合高速處理樣品，具有良好的電漿效能。
AbstractAcasingisusedforbeingrotatablydisposedinajettype
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