單點迴轉式電漿頭設計技術-技術移轉-產業服務-工業技術研究院
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技術名稱:
單點迴轉式電漿頭設計技術
技術簡介一種單旋轉電漿機制,用以可旋轉地設置於一噴射式電漿系統中,電漿係經由直形通道噴出,避免因為加大處理面積而降低改質效能,本系統的工作範圍(直徑)能提升到20~30mm,適合高速處理樣品,具有良好的電漿效能。
AbstractAcasingisusedforbeingrotatablydisposedinajettype
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