曝光機- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia
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曝光機
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法國研究所暗室中的小型曝光機 左:EVG-620右:MA-150
曝光機(英語:MaskAligner)是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵裝置。
可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contacta