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RF-CCP(电容耦合)和RF-ICP(感应耦合)离子源的结构原理
2008-12-31卢景景合肥工业大学机械与汽车工程学院
RF-CCP(电容耦合)离子源
如图2所示,电容耦合方式是由接地的放电室(由复合系数很小的材料如石英做成)和引入的驱动电极作为耦合元件。
驱动电极上镀有溅射产额较低的陶瓷材料以减少离
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