電漿的基礎原理www.tool-tool.com
文章推薦指數: 80 %
在電漿蝕刻製程中,蝕刻劑注入反應室內並於電漿中分解。
自由基會擴散到介面層並且被表面所吸收。
在離子轟擊的幫助下,它們會和表面的原子或分子產生反應 ...
BWProfessionalCutterExpertwww.tool-tool.com
跳到主文
碧威為專業的刀具,銑刀,鎢鋼,切削刀具製造商,致力於製造優秀的產品,在客製化刀具方面的經驗十分豐富,並擅於幫助客戶解決各式各樣之刀具切削面臨之問題,對各種材質之刀具和切削刀具都非常瞭解透徹。
部落格全站分類:職場甘苦
相簿
部落格
留言
名片
公告版位
Oct21Thu201008:56
電漿的基礎原理www.tool-tool.com
BewiseInc. www.tool-tool.com Referencesourcefromtheinternet.
●電漿是由離子、電子和中性分子所組成。
●三種重要的碰撞是離子化、激發-鬆弛和分解o
●平均自由路徑是粒子在和其他粒子相碰撞之前所能移動的平均距離。
它和壓力成反比。
●從分解碰撞中產生的自由基能夠提高CVD\蝕刻和乾式子清洗製程的化學反應。
●電漿的電位一定都高於電極。
較高的電漿電位會產生離子轟擊。
●增加電容耦合型電漿中的射頻功率,也就會提高離子的轟擊流通量和離子的轟擊能量。
●低頻率射頻功率會讓離子有更多能量,而這也意味著會有較劇烈的離子轟擊。
●蝕刻製程比PECVD製程需要更多的離子轟擊。
蝕刻反應室通常會使用一個磁場來增加低壓下的電漿密度。
●電容耦合型電漿源無法製造高密度電漿。
●蝕刻和CVD兩製程都希望在低壓下能得到高密度的電漿。
●ICP和ECR是最普遍的高密度電漿源。
●CP和ECR電漿源都能夠單獨控制離子的轟擊流通量和能量。
離子佈植
●在積體電路晶片製造中常用的摻雜物是:硼當作P型摻雜物,而磷、砷和銻當作N型摻雜物o
●互補型金氧半電晶體(CMOS)製程需要至少八道離子佈植步驟:井區、臨界電壓、LDD和源極、汲極佈植製程,在P型金氧半電晶體(PMOS)做完一次後,再為N型金氧半電晶體(NMOS)重複做一次。
●離子佈植製程能精確地且獨立地控制摻雜物接面的深度和摻雜物的濃度。
離子佈植是非等向性的,次微米製程需要用到它。
●一個離子佈植機包括了氣體系統、真空系統、電機系統、控制系統和射束線系統o
●射束線系統包括了離子源、萃取電極、質譜儀、後段加速裝置、電荷中性化系統、晶圓處理機以及射束阻擋器。
●非正常的深接面(DeepJunction)是由於長的離子射程所造成的,這是因為離子在單晶體的通道內行進之故,所以稱之為通道效應。
傾斜晶圓和屏蔽氧化層是減小此效應的兩種最常用方法o
●以相同的離子種類而言,離子的能量愈高,離子的射程就愈遠。
而在相同的能量之下,離子愈輕,則離子的射程就愈遠o
●佈植會造成晶體結構受損。
需要佈植後的加熱退火製程來恢復單晶結構及活化摻雜物。
●離子佈植製程會使用很多種危險性的固體與氣體。
它們大部分是有毒的、易燃性的、具爆炸性的,或是有腐蝕性的。
其他安全性上的危險源是高電壓、X光輻射和移動中的零件。
蝕刻
●在IC晶片裝配時,四項需要蝕刻的材料是單晶矽、多晶矽、介電質(矽氧化物與氮化物)和金屬(Ti、AL·Cu和Ti)。
●主要的蝕刻製程是矽蝕刻、多晶矽蝕刻、介電質蝕刻和金屬蝕刻。
●溼式蝕刻利用化學溶液來溶解必須蝕刻的材料。
●乾式蝕刻利用化學氣體,經由物理蝕刻、化學蝕刻或兩者蝕刻的組合方式來將基片表面的材料移除。
●溼式蝕刻有高的選擇性、高的蝕刻速率和低的設備成本。
受到等向性蝕刻輪廓的限制,溼式子蝕刻無法應用在圖形尺寸小於3微米的圖案化蝕刻上。
●較先進的半導體廠中仍普遍使用溼式蝕刻來剝除薄膜和檢視介電質薄膜的品質。
●在電漿蝕刻製程中,蝕刻劑注入反應室內並於電漿中分解。
自由基會擴散到介面層並且被表面所吸收。
在離子轟擊的幫助下,它們會和表面的原子或分子產生反應。
其所產生的揮發性反應生成物會從表面釋出,擴散穿過邊界層,並且經由反應室的對流作用而被抽出。
●非等向性蝕刻機制有兩種:損傷機制和阻絕機制。
介電質蝕刻使用損傷機制;矽、多晶態和金屬蝕刻則使用阻絕機制。
●介電質蝕刻使用了氟元素化學品。
介電質蝕刻中經常使用CF4、CHF3和Ar。
CF4是主要的蝕刻劑,而CHF3是聚合體的源材料,可用來改善PR和.矽的蝕刻選擇性。
Ar則用來增強離子轟擊。
O2則能增加蝕刻的速率,而H2也可用來改善對PR和矽的蝕刻選擇性。
●矽蝕刻通常使用HBr來作為主要的蝕刻劑,而O2和氣化合物則用於側壁沉積。
●多晶矽蝕刻可利用Cl2或SF6。
O2一般被用來改善對氧化物的選擇性,而HBr則有助於側壁沉積。
●金屬蝕刻中使用了Cl2、BCl3和N2來改善側壁的鈍化作用。
電漿的基礎原理-地圖日記http://www.atlaspost.com/landmark-131437.htm#ixzz12wxql8l4
(網址連回本文)
歡迎來到BewiseInc.的世界,首先恭喜您來到這接受新的資訊讓產業更有競爭力,我們是提供專業刀具製造商,應對客戶高品質的刀具需求,我們可以協助客戶滿足您對產業的不同要求,我們有能力達到非常卓越的客戶需求品質,這是現有相關技術無法比擬的,我們成功的滿足了各行各業的要求,包括:精密HSSDIN切削刀具、協助客戶設計刀具流程、DINorJIS鎢鋼切削刀具設計、NAS986NAS965NAS897NAS937orNAS907航太切削刀具,NAS航太刀具設計、超高硬度的切削刀具、醫療配件刀具設計、複合式再研磨機、PCD地板專用企口鑽石組合刀具、粉末造粒成型機、主機版專用頂級電桿、PCDV-Cut刀、捨棄式圓鋸片組、粉末成型機、航空機械鉸刀、主機版專用頂級電感、’汽車業刀具設計、電子產業鑽石刀具、木工產業鑽石刀具、銑刀與切斷複合再研磨機、銑刀與鑽頭複合再研磨機、銑刀與螺絲攻複合再研磨機等等。
我們的產品涵蓋了從民生刀具到工業級的刀具設計;從微細刀具到大型刀具;從小型生產到大型量產;全自動整合;我們的技術可提供您連續生產的效能,我們整體的服務及卓越的技術,恭迎您親自體驗!!
[email protected] [email protected] www.tool-tool.com
skype:willy_chen_bwmobile:0937-618-190Head&AdministrationOffice
No.13,ShiangShang2ndSt.,WestChiuTaichung,Taiwan40356http://www.tool-tool.com
/FAX:+886424714839N.Branch5F,No.460,FuShinNorth
Rd.,Taipei,TaiwanS.BranchNo.24,Sec.1,ChiaPuEastRd.,Taipao
City,ChiayiHsien,Taiwan
WelcometoBW
toolworld!Weareanexperiencedtoolmakerspecializedincutting
tools.Wefocusonwhatyouneedandendeavortoresearchthebest
cuttertosatisfyusers’
demand.Ourcustomersinvolvewiderangeofindustries,likemold&
die,aerospace,electronic,machinery,etc.Weareprofessionalexpert
incuttingfield.Wewouldliketosolveeveryproblemfromyou.Please
feelfreetocontactus,itsourpleasuretoserveforyou.BWproductincluding:cuttingtool、aerospacetool.HSS DINCuttingtool、Carbideendmills、Carbidecuttingtool、NASCuttingtool、NAS986NAS965NAS897NAS937orNAS907CuttingTools,Carbideendmill、discmillingcutter,Aerospacecuttingtool、hssdrill’Фрезеры’Carbidedrill、Highspeedsteel、CompoundSharpener’Millingcutter、INDUCTORSFORPCD’CVDD(ChemicalVaporDepositionDiamond)’PCBN(PolycrystallineCubicBoronNitride) ’Coredrill、Taperedendmills、CVDDiamondToolsInserts’PCDEdge-BevelingCutter(GoldenFinger’PCDV-Cutter’PCDWoodtools’PCDCuttingtools’PCDCircularSawBlade’PVDDEndMills’diamondtool.INDUCTORSFORPCD.POWDERFORMINGMACHINE‘SingleCrystalDiamond‘Metricendmills、Miniatureendmills、Специальныережущиеинструменты‘Пустотелоесверло‘Pilotreamer、Fraises’Fresasconmango’PCD(Polycrystallinediamond) ‘Frese’POWDERFORMINGMACHINE’Electronicscutter、Stepdrill、meXXXXXtalcuttingsaw、Doublemargindrill、Gunbarrel、Anglemillingcutter、Carbideburrs、Carbidetippedcutter、Chamferingtool、ICcardengravingcutter、Sidecutter、StapleCutter’PCDdiamondcutterspecializedingroovingfloors’V-CutPCDCircularDiamondTippedSawBladewithIndexableInsert’PCDDiamondTool’SawBladewithIndexableInsert’NAStool、DINorJIStool、Specialtool、meXXXXXtalslittingsaws、Shellendmills、Sideandfacemillingcutters、Sidechipclearancesaws、Longendmills’endmillgrinder’drillgrinder’sharpener、Stubroughingendmills、Dovetailmillingcutters、Carbideslotdrills、Carbidetoruscutters、Angelcarbideendmills、Carbidetoruscutters、Carbideball-nosedslotdrills、Mouldcutter、Toolmanufacturer.
BewiseInc. www.tool-tool.com
ようこそBewise Inc.の世界へお越し下さいませ、先ず御目出度たいのは新たな
情報を受け取って頂き、もっと各産業に競争力プラス展開。
弊社は専門なエンド・ミルの製造メーカーで、客先に色んな分野のニーズ、
豊富なパリエーションを満足させ、特にハイテク品質要求にサポート致します。
弊社は各領域に供給できる内容は:
(1)精密HSSエンド・ミルのR&D
(2)CarbideCuttingtools設計
(3)鎢鋼エンド・ミル設計
(4)航空エンド・ミル設計
(5)超高硬度エンド・ミル
(6)ダイヤモンド・エンド・ミル
(7)医療用品エンド・ミル設計
(8)自動車部品&材料加工向けエンド・ミル設計
弊社の製品の供給調達機能は:
(1)生活産業~ハイテク工業までのエンド・ミル設計
(2)ミクロ・エンド・ミル~大型エンド・ミル供給
(3)小Lot生産~大量発注対応供給
(4)オートメーション整備調達
(5)スポット対応~流れ生産対応
弊社の全般供給体制及び技術自慢の総合専門製造メーカーに貴方のご体験を御待ちしております。
BewiseInc.
talaşlıimalatsanayindeenfazlakullanılanveüçeksende(x,y,z)talaş
kaldırabilenfrezetakımlarındanolanParmakFrezeimalatçısıdır.Çok
genişürünyelpazesinesahipolanfirmanınbaşlıcaürünleriniKarbür
ParmakFrezeler,KalıpçıFrezeleri,KabaTalaşFrezeleri,KonikAlın
Frezeler,KöşeRadyüsFrezeler,İkiAğızlıKısaveUzunKüresel
Frezeler,İçBükeyFrezelervb.şeklindesıralayabiliriz.
BWспециализируется
внаучныхисследованияхиразработках,иснабжаемсамым
высокотехнологичнымкарбидовымматериаломдляпоставкирежущих/
фрезеровочныхинструментовдляпочвы,воздушногопространстваи
электроннойиндустрии.Внашуосновнуюпродукциювходиттвердыйкарбид/
быстрорежущаясталь,атакжедвигатели,микроэлектрическиедрели,IC
картонорезальныемашины,фрезыдлягравирования,режущиепилы,
фрезеры-расширители,фрезеры-расширителисрезцом,дрели,резакиформ
дляшлицевоговала/звездочкироликовойцепи,испециальныенано
инструменты.Пожалуйста,посетитесайт www.tool-tool.com дляполучениябольшейинформации.
BW
isspecializedinR&Dandsourcingthemostadvancedcarbide
materialwithhigh-techcoatingtosupplycutting/millingtoolfor
mould&die,aerospaceandelectronicindustry.Ourmainproducts
includesolidcarbide/HSSendmills,microelectronicdrill,ICcard
cutter,engravingcutter,shellendmills,cuttingsaw,reamer,thread
reamer,leadingdrill,involutegearcutterforspurwheel,rackand
wormmillingcutter,threadmillingcutter,formcuttersforspline
shaft/rollerchainsprocket,andspecialtool,withnanograde.Please
visitourweb www.tool-tool.com formoreinfo.
全站熱搜
創作者介紹
beeway
BWProfessionalCutterExpertwww.tool-tool.com
beeway發表在痞客邦留言(0)人氣()
E-mail轉寄
全站分類:進修深造個人分類:學術研究此分類上一篇:SMD電感全自動測試檢驗包裝機www.tool-tool.com
此分類下一篇:石墨烯与碳纳米管:一样的前生,不一样的今世www.tool-tool.com
上一篇:SMD電感全自動測試檢驗包裝機www.tool-tool.com
下一篇:石墨烯与碳纳米管:一样的前生,不一样的今世www.tool-tool.com
歷史上的今天
2008:材質SCM415の切削加工www.tool-tool.com
2008:工具の振れについてwww.tool-tool.com
2008:平面研磨の基本www.tool-tool.com
▲top
留言列表
發表留言
近期文章
熱門文章
文章分類
BW新品介紹(6)機械類介紹(1)刀具加工知識大百科(41)BWNEWS(32)學術研究(9512)刀具展示區(212)企管財經(58)文化小品(162)未分類文章(59)
最新迴響
月曆
«
十一月2021
»
日
一
二
三
四
五
六
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
網誌搜尋
我的連結
好友連結
元福麻油廠碧威股份有限公司Beewiseinc.
新聞交換(RSS)
POWEREDBY
(登入)
最新站方公告
[公告]MIB廣告分潤計劃、PIXwallet錢包帳戶條款異動通知[公告]2021年度農曆春節期間服務公告[公告]新版部落格預設樣式上線
參觀人氣
本日人氣:
累積人氣:
回到頁首
回到主文
免費註冊
客服中心
痞客邦首頁
©2003-2021PIXNET
關閉視窗
延伸文章資訊
- 1第二章文獻回顧
2.2 電漿原理與特性. 2.2.1 電漿形成原理與特性. 電漿的定義是一團氣體原子或分子,其中包含自由電子、氣體離子、. 中性的氣體原子或分子、激態的原子和分子以及自由基 ...
- 2連續生產型超高頻電漿增強式鍍膜設備設計及其性能探討
可以圖4 所示之等效電路. 進行探討,電路系統由功率產生器、阻抗匹配器. (impedance matching box)、腔體所構成。 圖2. 帕森放電原理,不同氣體壓力對電壓關係圖. (5) 。
- 3第五章電漿基礎原理
電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或 ... 平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率 ... 電漿蝕刻. • CF. 4. 氣體在電漿中分解,產生氟自由基以. 進行氧蝕刻製程.
- 4Ch7 Plasma
平行板電漿系統. 電漿. 射頻功率. 暗區. 或. 鞘層. 電極. 至真空幫浦. 陰極. Photo Courtesy: UT Dallas. Wafer location: 6. 離子化(Io...
- 5何謂電漿濺鍍法?
因為直流電漿無法濺射介電材料(介電質),此時可在介電質靶背加一金屬電極且改用射頻交流電,由於電子的速度比正離子的速度大,在射頻的正半週期已飛向靶面 ...