常壓電漿表面處理裝置- 崇越科技股份有限公司
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常壓Plasma方式取代以往採用UV Lamp 清潔方式( Excimer UV), ... 常壓電漿表面處理裝置 ... 增加基板最初洗淨、精密洗淨效率的提升及密著性的提升; 由於不發塵最適合 ...
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首頁»LCD相關»常壓電漿表面處理裝置
常壓電漿表面處理裝置
CategoriesLCD相關,封測,電子材料
TagsArray,Cell,CF,Clean,cleaner,contactangle,Dryetch,Esquare,EUV,ExcimerUV,IPS,ITO,ITOsputter,LCD,半導體,接觸角改善
諮詢產品專家
內容簡介
常壓Plasma方式取代以往採用UVLamp清潔方式(ExcimerUV),具有高性能(約Excimer的4倍)表面改質效果,並有助於降低runningcost成本。
說明
產品聯絡人
說明
增加基板最初洗淨、精密洗淨效率的提升及密著性的提升
由於不發塵最適合為提升次工程(ITO、PI、光阻塗佈製程前)高附著性表面改質
因處理後表面均一化,可加快顯影液、蝕刻藥液、去光阻液等的初期反應,有效提升處理一致性及處理速度
非接觸式低溫處理清潔,對產品表面不會造成傷害(與UV、EUV相同程度),故對裝置無不良影響
安裝在各製程間,可有效去除表面有機污染層
處理過程中,對於基板表面不會產生電位及靜電
無靜電放電(處理後的ESD值為0~50V以內,由於正、負離子的產生,故處理前不需要負離子空氣淨化器裝置,使基板為不帶電)
規格:
G5基板尺寸1100mm版寬,機台參考外觀尺寸(L1500mm*W620mm*H750mm);可視客戶各世代玻璃尺寸對應。
產品聯絡人楊育晴
設備營二部專案副理
崇越科技股份有限公司
744094台南市新市區台南科學園區創業路8號1樓TEL:(06)505-8940ext.6181e-mail:[email protected]
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