半導體光電研究室首頁
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代工費用. 負責人. 分機. 光罩設計製作. 含製圖、對圖及製程諮詢。
5吋玻璃光罩 精度:5+-0.5um:13500 ... 委託代工： 每Run 25片。
含標準清洗（四吋含清洗費，其它尺寸清洗費另計），標準清洗25片一RUN。
... 晶圓切割機. 學術單位：每片400 ...
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