Pinnacle Plus+ Pulsed DC Power Supply - 直流 - Advanced ...

Advanced Energy (AE) 的Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。

HOME产品与服务电源系统直流Pinnacle®Plus+ 直流   |  |  |  |   Pinnacle®Plus+ AdvancedEnergy(AE)的Pinnacle®Plus+电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。

结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，PinnaclePlus+电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。

优势 特点 更高的沉积率与产品率 薄膜均匀性和品质一流  成弧造成的基材损坏减少  成本更低 系统整合容易 极佳的工艺灵活性和宽容度 重复性能 在过度曲线上运行稳定 吞吐量更高 便于监控 无与伦比的系统灵活性 一个紧凑型封装 频率调节范围为5-350kHz 占空比高达45% 电压范围宽——单输出宽阻抗范围  大功率运行 基材温度低 单输出（5kW和10kW型号） 用于双阴极生产的双输出（双路5kW型号） 绝佳的弧控制 反应性溅射闭环控制       可下载文献 Pinnacle®Plus+脉冲直流电源    English     Pinnacle® Plus+HALOPulsed-DCPowerSupplies AE助力精准工艺控制再攀高峰   English IncreasingProductionOutputwithPulsed-DCAccessories(2006) whitepaper SignalIntegrityforVacuumProcessingSystems(2003)whitepaper AEGlobalServicesbrochure