Plasma原理介绍_百度文库
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Plasma原理介绍- plasma清洗原理介绍,可以学习下! ... 原理Plasma產生的條件產生的條件Ar/O2 Plasma的原理的原理Plasma Process Plasma Parameter-- ... 首页 文档 学前教育 基础教育 高校与高等教育 语言/资格考试 实用模板 法律 建筑 互联网 行业资料 政务民生 说明书 生活娱乐 文档工具 更多 搜索文档 续费VIP 立即续费VIP 会员中心 VIP福利社 VIP免费专区 VIP专属特权 客户端 看过 暂无浏览记录 店铺后台 店铺首页 个人中心 会员中心 消息 收藏 意见反馈 退出登录 Plasma原理介绍 VIP 2.9分 672阅读 28下载 2010-09-25上传 22页 关于作者 jincy8646 文库新人 文档 1 粉丝 0 等级 Lv1 关注 个人主页
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- 4第五章電漿基礎原理
電漿基礎原理. 2. 電漿的成分 ... Plasma. 反應室. 副產品被真空. 幫浦抽走. 夾盤. 射頻功率. 晶圓背端冷卻. 用氦氣. 磁場線圈 ... H2O, O2. 電漿.
- 5請問關於oxygenplasma的技術- 社會議題QA
有人知道oxygen plasma的原理及運作和運用嗎? 先謝謝囉~ Update: 謝謝囉,那再請問,它是如何可顯著增大表面能量,以及成為親水性呢?