先進電漿實驗室 - 明志科技大學
文章推薦指數: 80 %
跳到主要內容區 首頁 設備儀器 先進電漿實驗室
延伸文章資訊
- 1第二章文獻回顧
-3. Torr之間,在如此低壓下,粒子碰撞. 的速率低到無法維持電漿的產生,因此必須藉助外加磁場,使電子產生. 螺旋運動來增加其活動路徑長度,使電子獲得足夠的 ...
- 2電漿源原理與應用之介紹
(低電漿密度)時,射頻功率之偶合是以線圈與電漿間 ... 壓時,中性粒子密度低,電子碰撞頻率遠低於射頻功 ... 溫、低壓下以乙烯/氫氣的混合電漿成長均勻垂直基板.
- 3Development of a DBD Plasma Generator and the ...
但是低壓電漿需要相對昂貴複雜的真空系統。 常壓電漿則是在760 Torr,一大氣壓下所產生的電漿,電漿生成. 之基本要素電子 ...
- 4電漿反應器與原理
他們無法受到電場的加速,而且在低壓時與電子或離子碰撞頻率低,具有的動能 ... 利用低壓電漿幫助鍍膜就是利用其不需提高反應氣體的溫度而可在低溫下.
- 5電漿基礎實驗
低壓氣體生成的電漿稱為低壓電漿(Low pressure plasma)或低溫電漿(Low temperature plasma),此處低溫所指是針對氣體溫度而言,又因為電子溫度和離子溫度不.