微波電漿化學氣相沉積(MPCVD) | Ansforce

2024-09-21

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plasma density. ( cm. -3. ) Microwave power. 2500W. 2000W. 1500W. 1000W. 1012. 1013. 1011. 圖7 電漿分...

子，其原理可由微波電場作用在真空中的自由電子來說明，如Fig. 2-3(a). 所示為 ... 微波電漿輔助化學氣相沉積法(MPECVD, microwave plasma assisted c...

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