Ferrotec(中國)300mm半導體晶圓再生項目來襲,年產240萬枚
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日本FerroTec 株式會社(日本磁性流體技術控股有限公司)於1992 年正式進軍中國市場。
FerroTec(中國)現已成長為集產品研發、製造、銷售於一體的多元化企業集團。
旗下管理 ...
Ferrotec(中國)300mm半導體晶圓再生項目來襲,年產240萬枚
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Ferrotec(中國)300mm半導體晶圓再生項目來襲,年產240萬枚
2021-03-29
3月29日消息,據中欣晶圓發布,Ferrotec(中國)旗下安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司投資建設年產240萬枚半導體晶圓再生項目,項目計劃總投資10億元,占地75畝,新建廠房56774.38平方米。
據悉,該項目購置國內外先進設備數百台套(關鍵工序採用進口設備及專用設備),建設周期15個月,項目建成後將形成年產240萬枚300mm半導體晶圓精密再生的生產線,可達世界先進水平。
官方介紹,安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司由日本FerroTec株式會社(日本磁性流體技術控股有限公司)在中國的全資子公司上海申和熱磁電子有限公司於2019年在銅陵發起創立。
日本FerroTec株式會社(日本磁性流體技術控股有限公司)於1992年正式進軍中國市場。
FerroTec(中國)現已成長為集產品研發、製造、銷售於一體的多元化企業集團。
旗下管理的20余家公司與製造基地遍布中國各地,為國內外客戶提供具有世界先進水平的材料、器件、裝備和系統解決方案。
項目具有國內配備最完善的再生晶圓生產線,也是國內首家專業從事300mm大尺寸矽片晶圓再生的專業廠商,填補國內該領域空白。
本項目的建設,將促使國內晶圓廠擺脫長期主要依賴進口的窘境,使其在國內即可實現高水平的大尺寸晶圓再生。
採用國際一流的300mm晶圓用全自動精密CMP研磨機,研磨加工實現全程自動化,厚度損失少;設備內部利用HEPA(HighEfficiencyParticulateAir)過濾裝置,保持高潔凈度;另外量測設備採用美國KLA-TencorSP5顆粒檢測儀,具有DUV靈敏度和高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測系統,加工與量測設備均處於國際行業領先水平。
項目建設過程中,依託FerroTec(中國)成熟的半導體晶圓技術人才團隊為基礎,外籍專家團隊直接參與設備採購、安裝與調試,國內外知名廠商參與設備搬運與二次配工程,每一環節均有高品質掌控。
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