详解刻蚀清洗机的结构和工作原理- OFweek电子工程网
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图5 IPA慢提拉干燥原理图. d． Marangoni dryers干燥. 该干燥方式利用了硅片表面张力的梯度变化原理， 达到使晶圆干燥的目的。
先用流动的去 ...
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「ipa半導體」+1。半導體製作過程所產生的污染源也均發生於無塵室之中，為了避免其污染物之大量化學......alcohol)、異丙醇(isopropylalcohol,IPA)等，是由於晶 ...
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IPA vapor type: 考慮環保節水需求的新選擇，利用IPA將晶圓表面的水分去除，IPA加熱器係獨家設計並取得專利。 規格. 1. 濕式化學清洗(蝕刻)設備:依客戶需求提供. 2.
