磊晶介紹
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延伸文章資訊
- 1晶圓的製作
非晶). • polycrystalline(多晶,多結. 晶,複晶). 結. • crystalline(結晶) ... 拋光目的:. 改善前製程所留下的微缺陷. 提高晶圓 ... 磊晶(ep...
- 2二氯矽烷磊晶矽氯化氫(加熱攝氏1100度)
epi:在某物之上. * taxies:安排好的,有秩序的. *磊晶製程是在單晶片上長一層薄的單晶層. ․何為磊晶? 了解 磊晶(Epitaxy). ․磊晶目的? *源自於雙載子電晶體的載體層.
- 3Chapter 4 晶圓製造和磊晶成長 - Scribd
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htm 40. 磊晶:目的• 雙載子電晶體的載體層– 當維持在高集崩潰電壓時,降低集極電阻.
- 4磊晶
而磊晶薄膜是純度極高之矽晶底層,用於晶圓上而形成一個非常均勻的晶體結構,用以增強半導體晶片之工作效能。基本上﹐異質結構半導體是利用特殊的磊晶技術 ...
- 5磊晶目的 - 工商筆記本
說明矽比其他半導體材料更被普及採用. 的兩個理由. •列出單晶矽的兩種晶向. •列出從砂形成矽的基本步驟. •敘述CZ法和FZ法. •解釋矽磊晶層沉積的目的. •敘述磊晶矽 .