變 壓 耦合式 電漿

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[PDF] 國立交通大學機械工程研究所碩士論文HsinChu,Taiwan,Republic of China. 中華民國九十三年六月 ... 及變壓耦合式電漿源（Transformer Coupled Plasma，TCP ）操作原理與加熱機制﹔. | [PDF] 國立交通大學機械工程研究所碩士論文 - 國立交通大學機構典藏變壓耦合式電漿製程設備之蝕刻率批片控制. Wafer to wafer control of etching rate in Transformer. Coupled Plasma Processing Equipment. 研究生：廖木生. | [PDF] 柯志忠、劉伯亨、游智傑E-mail: [email protected] ... 本研究進行平板電極與感應耦合式電漿輔助原子層沉積系統(PEALD)之設計與製作, ... 氣體解離變為副產物沉積於薄膜中成為雜.[PDF] 電漿源原理與應用之介紹因此，ICP 又稱為變壓器偶合式電漿(Transformer. Coupled Plasma, TCP)。

電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間. | 電漿- 維基百科，自由嘅百科全書電漿可以由加熱氣體轉成，亦可喺強電磁場下，施以雷射或微波咁整出來。

名[編輯]. 電漿呢個名取自英文，因為似流體， ...等离子体- 维基百科，自由的百科全书等离子体（又稱电浆），是物質狀態之一，是物質的高能狀態。

其物理性質與固態、液態和氣態不同。

等離子體和氣體一樣，形狀和體積不固定，會依着容器而改變。

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