林本堅浸潤式

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[PDF] 林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來 - 工業技術研究院1987年，他建議微影技術要再發展下去，就必須從乾. 式轉向浸潤式。

2002年，他提出與其在技術極限的157奈米波長繼續鑽下. 去，倒不如回頭善用193奈米波長 ...改寫半導體發展史台積電前研發副總林本堅院士將任教清華電機以浸潤式（Immersion）微影技術改寫全球半導體微影發展的台積電前研發副總經理、中研院院士林本堅，今年加入清華大學，擔任講座教授。

林本堅說，除了專業 ...[PDF] 專訪林本堅 - 臺灣電磁產學聯盟2017年1月24日 · 林本堅長年投入半導體製程中的微影技. 術。

2002 年 ... 浸潤式微影（Immersion Lithography），一改. 半導體產業 ... 米浸潤式的介質，可以超過乾式的157 奈米」 的 ... IC Outstanding Achievement Award, SEMI Taiwan（2010）.浸潤式微影技術－科技大觀園2015年11月2日 · 林本堅：「我們所謂「微影」是把一個光罩，上面一些電路的圖形，給它縮小印在晶片上。

這究竟是有多小呢？那個時候，我們在做65奈米世代的 ...2018大名人講座- 林本堅 - FacebookReligion event in Taoyuan District, Taiwan by 桃園市基督福音教育協會on ... 第一的技術• 林本堅於2000年加入台積電，並在2002年研發出浸潤式（Immersion）微 ...[PDF] 創新網路資本模型之探討: 微影技術之發展與預測 - 國立交通大學機構 ...3.1.7 高數值孔徑浸潤式設備的發展(2005 到2006 年之間) . ... 副總林本堅博士(B. J. Lin)也在SPIE 期刊JM3 editorial上提供了次世代微影技術的. 10 ... The first immersion production tool (ASML 1250i) is shipped to TSMC Ltd. Inc. (Taiwan ... Lilian, G. L., Kolter P., Moorthy K. S. (1992), Marketing Models, Prentice-Hall Inc.,.PChome 24h購物- 把心放上去：林本堅的 ... - PChome Online 商店街林本堅院士在本書細細描繪數十年用心發揮及用心平衡的實踐心得，希望野人獻曝，能 ... 從照相到光學，從工程師到管理，從球拍到浸潤式微影的發明，充滿正面的 ...他跟張忠謀學溝通扭轉半導體規則| 信傳媒2018年4月6日 · 分享文章：facebooktwitterfacebookline ... 他是台積電前研發副總經理、中研院院士林本堅，過去伴著張忠謀一同將台積電壯大。

... 一世代，改用水做為介質， 發展出「浸潤式微影」技術，讓光束波長一舉縮短至134奈米，突破瓶頸。

... 更多精彩內容，請詳見《商業周刊》，全文連結：https://goo.gl/8GSXdD。

他17年前的勇敢決定造就台灣最大半導體聚落｜天下雜誌2018年4月3日 · 中研院第一個產業界院士. 林本堅是台積電，甚至整個台灣科技業的傳奇人物。

當前全球半導體高階製程所用的浸潤式微影技術，便來自他 ...林本堅 - Digitimes2013年6月25日 · 台積電奈米影像技術研究發展副總林本堅出生於1942年，畢業於台大電機 ... 林本堅 對半導體產業的重要成就，是研發以水為介質的193奈米浸潤式 ...