各大晶片製造商正爭搶EUV光刻機 ASML將支持中國發展半導體工藝

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眾所周知的是,在半導體行業中,晶片製造商的工藝是先進是落後,是優是劣,這直接決定了該晶片製造商能不能為客戶生產高端晶片。

英特爾去年在北京舉辦的那場「精尖製造日」活動上,面向業界公布的一項數據即表明,從2002年到2016年,更為先進的製程工藝正在向行業中的少數幾家半導體廠商集中。

到目前為止,晶片製造行業中主要的參與者基本就只有英特爾、台積電、三星電子、格羅方德、台聯電和中芯國際等。

然而,連英特爾、台積電、三星電子、格羅方德等都離不開的,唯一一家半導體設備廠商便是ASML,且目前ASML在光刻機市場已經占有八成以上的份額。

1月23日,據台灣DIGITIMES報導:ASML於1月22日公布了2017年第4季度的業績報告。

ASML不僅在本季的銷售額創出有史以來的新高,還從客戶那裡新接到了共10台EUV極紫外光刻機設備的訂單。

ASML稱,2017年全年,ASML向中國市場銷售光刻機所獲得的收入,比上一個年頭有大幅的增長。

2018年,ASML將繼續支持中國發展半導體產業,即ASML既會繼續向在中國的非中國客戶供應光刻機外,又將會向在中國的5家本土晶圓廠供應光刻機台。

ASML公布的最新業績數據顯示:2017年,ASML的銷售額110.4億美元(90.5億歐元),比上一年增長33%,取得的利潤25.9億美元(21.2億歐元),比上一年增長了44%。

2017年第4季度,ASML的銷售額31.2億美元(25.6億歐元),比前一個季度增長4%。

更令ASML感到開心的是,2017年,ASML向客戶供應了161台光學光刻設備,比2016年增長了21%。

ASML的總裁兼執行長彼得·韋尼克(Peter Wennink)對外稱,「EUV極紫外光刻設備進入大批量晶片製造的準備工作將進一步加快」。

由於個別大客戶對ASML的EUV光刻機設備已經達到了渴求的地步,所以ASML才在2017年第4季度中,提前向客戶交付了2台EUV光刻機。

彼得·韋尼克亦認為,隨著消費電子、人工智慧、雲計算和移動網際網路行業持續發展,預計2018年ASML的銷售額和盈利能力將保持穩健的增長態勢。

另有媒體指出,已有大量EUV光刻機設備的訂單之所以會積壓在ASML的手中,主要是因為光學鏡頭供應商蔡司的供貨進度跟不上客戶的需求。

據業界揣測:台積電和三星電子都會在2018年引入ASML的EUV光刻機用於晶片生產工藝,英特爾也同樣在採用ASML的EUV光刻機用於晶圓製造技術。

不過,英特爾在未來向ASML採購的EUV光刻機總數可能會是最多。

加之,三星也不惜向ASML砸出重金以包下大量的EUV設備的訂單,進而防堵競爭對手台積電。

從2018年到2019年,晶片製造商們將爭相批量裝機EUV光刻設備並用以生產晶片。

再有,DIGITIMES在報導中提到:「光源功率(source power)──直接等同於生產力,晶片製造商一直以來都堅持250瓦光源功率是達成每小時125片晶圓(WPH)生產量的必要條件,主要是ASML與光源技術供貨商Cymer。

ASML表示,目前EUV設備採用無缺陷EUV光罩保護薄膜、已實現了2納米EUV-to-DUV套刻精度匹配,能夠符合5納米邏輯節點的要求。


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