中國造超分辨光刻機,晶片製造實現了從0到1的歷史性轉變!
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說到晶片製造,必然要提到光刻機,它是製造晶片的核心裝備。
一直以來,光刻技術都掌握在日本和少數歐洲國家手中,我國在這方面是短板,時常遭遇國外掐脖子、禁售等各種制約。
今年上半年中興的危機,就是一個很好的警示,只有把技術牢牢抓在自己手中,才不會處處受制於人。
11月29日,我國中科院光電所,花了七年時間,終於不負眾望,研發出了中國人自己的超分辨光刻機,並在成都測試成功。
這台光刻機,採用365納米波長光源,單次曝光最高線寬分辨力22納米,結合雙重曝光技術,未來可用於製造10納米級別的晶片。
也就是說,與荷蘭ASML公司的光刻機相比,這台光刻機,採用截然不同的方式,用波長更長(近紫外)、成本更低(幾萬塊的汞燈)的光源,可以實現更高的光刻分辨力(0.06倍曝光波長),可以說是世界上首台分辨力最高的,紫外超分辨光刻裝備。
這一技術的研發,在原理上突破了分辨力的衍射極限,克服了限制中國晶片製造的一大障礙,還創下了47項國內專利和4項國際專利。
雖然說這一設備,短時間還無法應用於晶片生產,但它成功繞過了國外相關智慧財產權壁壘,取得了從無到有、從0到1的巨大進步!相信用不了多久,中國晶片的研發技術,一定可以趕超其他國家!你們說呢,朋友們?
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