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    中微:中國半導體裝備國產化的先鋒

    文/魏志強 武鵬 編者按:本文所報導的中微半導體設備(上海)有限公司,是我國在集成電路製造設備領域的一個傑出企業。中微多年專攻等離子刻蝕設備的研製,緊跟國際技術前進步伐,現已躋身國際一流行列,在...