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前段時間國內研發成功紫外超分辨SP光刻機的消息刷屏了，使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，它打破了傳統光學光刻分辨力受限於光源波長及鏡頭數值孔徑的傳統路線格局，而且這套...

前段時間國內研發成功紫外超分辨SP光刻機的消息刷屏了，使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，它打破了傳統光學光刻分辨力受限於光源波長及鏡頭數值孔徑的傳統路線格局，而且這...