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生產能力和工藝良品率(下)

晶片面積和缺陷密度與晶圓表面地缺陷密度對應,晶片地尺寸也對晶圓電測良品率有一定的影響。電路密度和缺陷密度晶圓表面的缺陷通過使部分晶片發生故障從而導致整個晶片失效。

生產能力和工藝良品率(上)

本節我們將結合影響良品率的主要工藝及材料要素對主要的良品率測量點做一些介紹。良品率測量點維持及提高工藝和產品的良品率對半導體工藝至關重要。任何對半導體工業做過些許了解的人都會發現,整個工藝對其生...