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日前，華力在上海浦東新區康橋工業園南區的工廠迎來了首台浸沒式光刻設備，這台光刻機（NXT 1980 0DI）仍然由荷蘭ASML提供，193nm的雙浸入式光刻技術，用於10nm（14～20nm）晶...