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2018年底，中國集成電路行業有兩條好消息：一則是中微半導體設備(上海)有限公司自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證，性能優良，將用於全球首條5納米製程生產線。另一則是中科院國家重大科研裝...