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    新型刻蝕機能否打開晶片自主的新途徑?

    最近,中微有限公司收到一個好消息:其自主研製的5納米等離子體刻蝕機經台積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。5納米,相當於頭髮絲直徑的兩萬分之一,將成為集成電路晶片上的最小線寬—...