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微影設備製造商ASML近期宣布，接獲美國一家主要客戶十五部EUV機台訂單，並將於今年底開始陸續出貨;同時間，日本光阻材料大廠JSR也與IMEC合資成立新公司，致力生產EUV微影所需的光阻劑，為E...