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本文轉自微信公號「未來論壇」 （futureforum）2018年9月8日，林本堅因開拓浸潤式微影系統方法，持續擴展納米級集成電路製造，將摩爾定律延伸多代榮膺2018年未來科學大獎—數學與計

來源：內容由 微信公眾號 半導體行業觀察（ID：icbank）轉載自「 未來論壇 」，謝謝。2018年9月8日，林本堅因開拓浸潤式微影系統方法，持續擴展納米級集成電路製造，將摩爾定律延伸多代榮膺...