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光刻機，是晶片 製造核心中的核心，相當於工具機製造 中的工具機母機。半導體 設備行業細分領域眾多，大致上可以分為沉積設備、光刻設備、刻蝕設備、材料製備設備、表面處理設備、安裝設備等幾大塊。

光刻機，是晶片製造過程中的核心，是製造晶片重要的上游設備，地位極其重要。半導體設備行業細分領域眾多，大致上可以分為沉積設備、光刻設備、刻蝕設備、材料製備設備、表面處理設備、安裝設備等幾大塊。其中...