電漿處理表面粗糙度

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在常壓電漿表面改質系統中， ...博碩士論文行動網 - 全國博碩士論文資訊網經SEM及AFM之影像結果可發現膜材表面粗糙度確實隨著電漿功率及電漿處理時間之提高而上升。

另外以XPS對膜材表面進行化學元素組成分析，亦可發現改質後膜 ...[PDF] 利用吹氣測試與奈米壓痕試驗機量測微機電元件之薄膜機械特性關鍵詞：吹氣試驗、電感耦合電漿蝕刻式. 系統、矽等向蝕刻 ... 薄膜附著力之電漿 處理參數等特性，期望. 能提供為元件設計者之 ... 間之表面粗糙度值可知，隨著氫電漿處理. 時間的增長，其 ... [2] G. L. Pearson, W. T. Read, and W. L.. Feldmann ...圖片全部顯示