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又傳奧步？傳三星斷貨EUV機台 狙殺台積電

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半導體廠搶進先進位程，紛砸大錢向獨家供應商艾司摩爾(ASML)，訂購要價1.5億美元(摺合新台幣約45億元)起跳的極紫外光微影設備(EUV)。

根據韓媒報導，ASML今年規劃生產的12台EUV機台中，南韓三星擬訂下10台，外界推測三星此舉除考量ASML生產不順外，也趁機阻礙台積電等其他競爭對手的量產進度。

半導體製程愈來愈先進，尤其10奈米以下先進位程，必須導入波長只有13.5奈米的極紫外光(EUV) ，才能降低晶圓製造的光罩數，縮短晶片製程流程。

雖然目前ASML開發的EUV機台造價相當昂貴，但三星已率先在7奈米導入EUV，未來2年包括英特爾(Intel)、台積電、格羅方德(GF)等也都計劃採用。

根據韓媒《BusinessKorea》引述業界消息指出，三星正與ASML洽談購買10台EUV機台，占今年生產量12台的8成比重。

由於先前曾傳出光學鏡頭生產商蔡司(Carl Zeiss)供應不足，導致ASML的EUV機台生產不順，外界認為，如果最後三星真的將該關鍵設備壟斷，將阻礙其他競爭對手開發先進位程的進度，對於三星拓展晶圓代工業務相當有利。

事實上，三星先前在OLED的市場爭奪戰中就用過相同奧步，並因此嘗到甜頭。

三星當時也是從獨家供應商日本Canon Tokki手中，將生產的7台OLED蒸鍍機買下其中5台，讓競爭對手LG Display及中國大陸的京東方分別只搶到1台，發展追不上三星。

據指出，明年Canon Tokki計劃生產10台OLED蒸鍍機，其中一半已由三星訂下，他廠只能徒呼負負。

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